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氢气、乙炔、氦气在电子工业中应用

2017-03-22       659

电子工业是在电子科学技术发展和应用的基础上发展起来的。20世纪以来,电子工业发展很快,电子工业由于生产技术的提高和加工工艺的改进,集成电路差不多每三年就更新一代;大规模集成电路和计算机的大量生产和使用,光纤通信、数字化通信、卫星通信技术的兴起,使电子工业成为一个迅速崛起的高技术产业。电子工业的发展及其产品的广泛应用,对军事领域产生了深刻的影响:改进了作战指挥系统。

氢气

1:在晶体的生长于衬底的制备,氧化工艺。在晶体的生长与衬底的制备、氧化工艺中以及化学气相淀积(CVD)技术中,均要用到氢气。

2:多晶硅的制备

电子工业中多晶硅的制备需要用到氢。当硅用氯化氢生成三氯氢硅SiHCL3后,经过分馏供分离出来,在高温下用氢还原,达到半导体需要的纯度。

3:外延工艺:在外延工艺中,用于硅气相外延,四氯化硅货三氯氢硅在加热的硅衬底表面与氢发生反应,还原出硅沉积到硅衬底上,生成外延层上述过程对氢的纯度要求很高。

4:电子管的填充气体:对氢闸管,离子管等各种充气电子管的填充气体纯度要求更高,显像管制造中所使用的氢气纯度大于99.99%

5:制造非晶硅太阳能电池中,也用到纯度很高的氢气。光导纤维的应用和开发是新技术的革命的重要标志之一,石英玻璃纤维是光导纤维的主要类型,在制造过程中,需要采用氢氧焰加热,经数十次沉积i,对氢气纯度和洁净度都有很高的要求。


乙炔

乙炔气是最早的应用来照明、主要的使用场合为航标灯。供给适量空气,乙炔可以完全燃烧发出亮白光,在电灯未普及或没有电力的地方可以用做照明光源。


氦气

1:充填磷光管

氦、氖、氩和汞蒸气混合可用于充填磷光管。

2:制成霓虹灯(字模显示灯)

对于低压放电管,在清洁的玻璃管内,氦气生白黄色光,氦-氩产生橙色光。氖与氩-氦按不同比例混合,充入各种滤光玻璃管,可制成绚丽多彩的霓红灯(字模显示灯)

3:激光技术

激光技术广泛应用氦族气体,氖-氦连续激光器广泛应用于功率仅为零点几瓦应用中。贵重气体离子激光器以非常高的功率密度和在很宽广的频率范围内操作。二氧化碳激光器是普通连续激光器中功率最强和效率最高的,激光发生体是氦和二氧化碳的混合物。

4:半导体器件的生产

电子工业中,氦气的最大应用是半导体器件的生产,用氦气作半导体生产过程运载气体,可以安全的将挥发性物质货气体混合物聪发生源输送到扩散炉管或反应器的工作室。

5:高压电子管转换开关和调整管

在某些高压电子管转换开关和调整管中也要用到氦。氦-氩混合气在电子元件封装等工艺过程所需的微件焊接中用作保护气。用氦气作半导体生产过程的运载气体。可以安全将挥发性物质货气体混合气从发生源输送到扩散炉管货反应器的工作室。

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